設(shè)備故障診斷系統(tǒng)資訊：傳感器與MEMS技術(shù)的協(xié)同發(fā)展

傳感器發(fā)展的另一個主要特點是向集成化、智能化方向發(fā)展。電渦流位移傳感器能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。無線振動傳感器基于無線技術(shù)的機器狀態(tài)監(jiān)測，具有振動測量及溫度測量功能，操作簡單，自動指示狀態(tài)報警。應(yīng)用于工業(yè)設(shè)備狀態(tài)管理及監(jiān)測控制系統(tǒng)；適合現(xiàn)場設(shè)備運行和維護人員監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)問題，保證設(shè)備正常可靠運行。設(shè)備故障診斷系統(tǒng)具有緩變信號（如溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、流量等）與動態(tài)信號（如振動信號）的數(shù)據(jù)融合處理功能；具有黑匣子記錄功能；系統(tǒng)滿足車輛振動沖擊環(huán)境下的使用要求。集成傳感器的優(yōu)點是傳統(tǒng)的傳感器無法達到的，它不僅是一個簡單的傳感器，它將輔助電路元件和傳感器元件同時集成在一個芯片上，它具有校準、補償、自診斷和網(wǎng)絡(luò)通信等功能。它可以降低成本，提高產(chǎn)量。智能傳感器是一種微處理器傳感器，是微機與傳感器相結(jié)合的產(chǎn)物。它具有檢測、判斷和信息處理功能，與傳統(tǒng)傳感器相比具有許多特點，具有判斷和信息處理、多傳感器多參數(shù)測量、自診斷和自校準、測量數(shù)據(jù)訪問、數(shù)據(jù)通信接口和與微機直接通信等功能。將傳感器、信號調(diào)理電路和單片機集成在一個芯片上，形成超大規(guī)模集成的**智能傳感器已成為一種新的發(fā)展趨勢。

傳感器是一種接收和響應(yīng)信號的裝置。傳感器的靈敏度顯示是指傳感器輸出的變化。測量微小變化的傳感器必須具有非常高的靈敏度。傳感器也會影響它們的測量；例如，室溫的溫度計插入一杯熱液體到冷卻液的加熱溫度計中，并隨液體而變化。傳感器需要設(shè)計一個影響測量的因素；可以改進傳感器，同時可以引入其他優(yōu)點。隨著技術(shù)的發(fā)展，越來越多的傳感器作為微傳感器來應(yīng)用MEMS技術(shù)。**的MEMS技術(shù)意味著制造商現(xiàn)在可以生產(chǎn)非常精確的MEMS傳感器和器件，但其中許多無法直接安裝到*終應(yīng)用中，因為它們無法經(jīng)受住苛刻的*終組裝。相反，傳統(tǒng)傳感器可以在任何組裝過程和任何應(yīng)用中生存，但它們太昂貴了。商業(yè)制造商面臨的挑戰(zhàn)是將MEMS價格和成型因素結(jié)合起來，然后將其封裝成能夠承受惡劣環(huán)境的產(chǎn)品。

　　今天,除了新方式來包裝和集成MEMS器件，大部分企業(yè)工業(yè)創(chuàng)新和發(fā)展商業(yè)市場機會集中在應(yīng)用系統(tǒng)程序的現(xiàn)有MEMS器件。MEMS傳感器主要包括加速度計(ACC)、陀螺儀(GYRO)、磁力計(MAG)、壓力以及傳感器(PS)和話筒(MIC)。因為一個低成本，小尺寸，低功耗，高性能，MEMS傳感器近幾年來被集成到便攜電子設(shè)備內(nèi)。

　　快速的CPU、多任務(wù)處理的操作系統(tǒng)、高靈敏度GPS接收器、3G/4G無線通信芯片組、高分辨率數(shù)字攝像頭、觸摸屏LCD顯示屏和大容量存儲器是智能手機的共同特性。MEMS傳感器的用途不再局限于當前的應(yīng)用領(lǐng)域，例如，屏幕旋轉(zhuǎn)、省電、運動檢測、數(shù)字羅盤和3D游戲。目前導(dǎo)航廠商正在開發(fā)更**的MEMS傳感器應(yīng)用，例如，增強實境(AR)、定位服務(wù)(LBS)、行人航位推算系統(tǒng)(PDR)。